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Synova S. A.

概要

Water-jet技术是和激光技术接轨的新技术, Water-jet利用水流全反射传导管作用,导向Target(目标)的。

  • Laser & Water Coupling Unit
  • Nozzle

设备 优点

设备 优点
现有激光(Conventional Laser) Water-jet激光Laser MicroJet
需要精密的聚焦 如果不需要聚焦的话不平的表面及3D 表面加工可以
切割面不平行 切割点平行高品质的cutting可能
切割比的限制 0um以下的切割宽度切断物质的最少化
有热影响区 热损伤和物质变形的最少化
particle 颗粒沉浸发生 薄的水膜颗粒沉淀另外不需要表面保护层
总线(burrs)形成 不会因为水的高运动能力让总线变形

Si wafer cutting 图像

  • Metal mask
  • 利用现有激光的 metal mask cutting, 利用激光水射流 metal mask cutting
  SAW LASER LMJ
Cost of Ownership
Speed ×
Edge quality × ×
Tool wear (磨耗)) ×
HAZ ×
Flexibility ×
Kerf width ×
Wide range of materials (SiC, GaN) ×

○ : good     △ : not good     × : bad

设备 图像

  • 半导体饼型管座 Edge Grinder with FA
  • OLED Fine Metal Mask Cutter
  • 半导体 饼型管座 Full Cutting  系统

适用/应用

  • Vias in 1mm thick
  • Dot marking
  • Dicing in 150mm T
  • Before edge-grinding
  • After edge-grinding
  • Hole drilling in 500mm
  • Dicing in 725mm thick
  • Edge grinding in 0.6mm T
  • LED Heat Sink Cut
  • OLED Metal Mask Cut

펨토레이저




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FemtoLaser Inc

作为商业化公司,保有着最好品质的femto激光技术是超短脉冲宽度激光系统。

  • Oscillator
  • Amplifier

※ 出处 : FemtoLasers Produktions GmbH

Femtosecond Laser 特征

  • - 极超短脉冲宽生成
  • - 不因Laser热的影响(副作用)适合眼科用医疗器械和精密加工机械等
  • Nano/pico -second Laser
  • Femto-second Laser

按脉冲宽不同的加工面

规格

规格
  脉冲宽 (fs) 反复率(KHz) 平均功率 (W)
Oscillator 7~50 4~75 150~2,600
Amplifier 30 1~10 0.8~9

应用 领域

  • - 商业用 : OLED repair, 特殊素材用高密度加工设备
  • - 医疗用 : OCT, 白内障手术,黑色素瘤手术
  • - 研究用 : 大学及研究机关 超短脉冲/高功率 激光开发

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